TCVN 10618:2014

ISO 9220:1988

LỚP PHỦ KIM LOẠI - ĐO CHIỀU DÀY LỚP PHỦ - PHƯƠNG PHÁP HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT

Metallic coating - Measurement of coating thickness - Scanning electron microscope methods

Lời nói đầu

TCVN 10618:2014 hoàn toàn tương đương ISO 9220:1988.

TCVN 10618:2014 do Ban kỹ thuật tiêu chuẩn quốc gia TCVN/TC 174, Đồ trang sức biên soạn, Tổng cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng đề nghị, Bộ Khoa học và Công nghệ công bố.

LỚP PHỦ KIM LOẠI - ĐO CHIỀU DÀY LỚP PHỦ - PHƯƠNG PHÁP HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT

Metallic coating - Measurement of coating thickness - Scanning electron microscope methods

1. Phạm vi áp dụng

Tiêu chuẩn này quy định một phương pháp đo chiều dày cục bộ của lớp phủ kim loại bằng cách kiểm tra mặt cắt ngang với sự trợ giúp của kính hiển vi điện tử quét (SEM). Đó là phương pháp phá hủy và có độ không đảm bảo đo nhỏ hơn 10 % hoặc 0,1 µm, tùy chọn cách nào tốt hơn. Nó có thể được sử dụng cho chiều dày tới vài milimet, nhưng thông thường khi áp dụng, thực tiễn hơn là sử dụng kính hiển vi quang học (ISO 1463).

2. Tài liệu viện dẫn

Các tài liệu dưới đây là rất cần thiết đối với việc áp dụng tiêu chuẩn này. Đối với tài liệu có ghi năm công bố, áp dụng phiên bản được nêu. Đối với tài liệu không có năm công bố, áp dụng phiên bản mới nhất kể cả các sửa đổi (nếu có).

ISO 1463:1982, Metallic and oxide coatings - Measurement of coating thickness - Microscopical method (Lớp phủ ôxyt và kim loại - Đo chiều dày lớp phủ - Phương pháp hiển vi quang học).

ISO 3543:1981, Metallic and other non-organic coatings - Definitions and conventions concerning the measurement of thickness (Lớp phủ kim loại và phi hữu cơ khác - Định nghĩa và các quy ước liên quan đến phép đo chiều dày).

3. Định nghĩa

Tiêu chuẩn này sử dụng thuật ngữ và định nghĩa sau.

3.1. Chiều dày cục bộ (local thickness)

Giá trị trung bình của các phép đo chiều dày mà ở đó một số lần đo quy định được tiến hành trong một diện tích tham chiếu (xem ISO 2064).

4. Nguyên lý

Mẫu thử từ một mặt cắt ngang của lớp phủ được cắt, mài và đánh bóng dùng để kiểm tra kim tương bằng một kính hiển vi điện tử quét. Phép đo được thực hiện trên một vi ảnh quy ước hoặc trên một ảnh chụp của tín hiệu video dạng sóng đối với một quá trình quét đơn ngang qua lớp phủ.

5. Thiết bị, dụng cụ

5.1. Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Kính hiển vi điện tử quét phải có khả năng phân giải 50 nm hoặc tốt hơn. Trên thị trường hiện sẵn có bán các thiết bị phù hợp.

5.2. Trắc vi kế có đĩa soi SEM

Một trắc vi kế có đĩa soi hoặc lưới cần có để hiệu chỉnh độ khuếch đại của SEM. Trắc vi kế có đĩa soi hoặc lưới phải có độ không đảm bảo đo nhỏ hơn 5 % đối với sự khuếch đại sử dụng. Trên thị trường hiện sẵn có bán trắc vi kế có đĩa soi hoặc lưới thích hợp.

6. Các nhân tố ảnh hưởng đến kết quả đo

Các nhân tố sau đây có thể ảnh hưởng độ chính xác của một phép đo chiều dày lớp phủ: