Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 8664-8:2011 (hoàn toàn tương đương với ISO 14644-8:2006) quy định về "Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 8: Phân loại ô nhiễm phân tử trong không khí". Đây là tiêu chuẩn kỹ thuật đóng vai trò nền tảng trong việc thiết lập các mức giới hạn và phương pháp phân loại đối với các chất ô nhiễm phân tử trong không khí (Airborne Molecular Contamination - AMC) tại các môi trường yêu cầu độ sạch cao.
Dưới đây là tóm tắt chi tiết nội dung cốt lõi của Phần mở đầu và các điều khoản đầu tiên (từ Điều 1 đến Điều 4) của tiêu chuẩn:
- Phạm vi áp dụng (Điều 1)
- Tiêu chuẩn này quy định việc phân loại ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) trong phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan, tính theo nồng độ trong không khí của các chất hóa học cụ thể (đơn chất, nhóm hoặc hỗn hợp chất).
- Cung cấp một phương pháp chuẩn hóa để thiết lập các đặc tính kỹ thuật về mức độ sạch hóa học của không khí (Airborne Chemical Cleanliness - ACC) đối với các tác nhân ô nhiễm có thể gây hại cho sản phẩm hoặc quy trình sản xuất nhạy cảm.
- Tiêu chuẩn không áp dụng cho việc phân loại ô nhiễm phân tử trong không khí ở các mức độ không ảnh hưởng trực tiếp đến sản phẩm hoặc quy trình, cũng như không đề cập đến các khía cạnh an toàn sức khỏe của người lao động hoặc bảo vệ môi trường bên ngoài.
- Tài liệu viện dẫn (Điều 2)
- Các tài liệu viện dẫn trong tiêu chuẩn này là cực kỳ cần thiết cho việc áp dụng. Đối với các tài liệu viện dẫn có ghi năm công bố thì áp dụng bản được nêu. Đối với các tài liệu viện dẫn không ghi năm công bố thì áp dụng bản mới nhất, bao gồm cả các sửa đổi, bổ sung (nếu có).
- Tiêu chuẩn liên kết chặt chẽ với các phần khác trong bộ tiêu chuẩn TCVN 8664 (ISO 14644), đặc biệt là Phần 1 về phân loại độ sạch không khí theo nồng độ hạt để đảm bảo tính đồng bộ trong quản lý phòng sạch.
- Thuật ngữ và định nghĩa (Điều 3)
Tiêu chuẩn đưa ra các định nghĩa chuyên ngành cốt lõi để thống nhất cách hiểu và áp dụng thực tế, bao gồm:
- Ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC): Sự xuất hiện trong không khí của các chất hóa học (dạng khí hoặc hơi) có thể gây tác động bất lợi đến sản phẩm, quy trình hoặc thiết bị trong phòng sạch.
- Cấp độ sạch hóa học của không khí (ACC): Chỉ số biểu thị nồng độ tối đa cho phép của một chất ô nhiễm phân tử cụ thể hoặc một nhóm chất ô nhiễm phân tử trong một mét khối không khí.
- Chất ô nhiễm phân tử (MC): Bất kỳ chất hóa học nào ở trạng thái khí hoặc hơi có khả năng gây ô nhiễm cho bề mặt hoặc sản phẩm nhạy cảm trong môi trường kiểm soát.
- Nguyên tắc phân loại và ký hiệu (Điều 4)
- Cấp độ sạch hóa học của không khí (ACC) được xác định bằng một chỉ số phân loại biểu thị nồng độ tối đa cho phép của chất ô nhiễm phân tử, tính bằng gam trên mét khối (g/m³).
- Ký hiệu phân loại ACC bắt buộc phải bao gồm mã định danh "ISO-ACC", tiếp theo là cấp độ (được biểu thị dưới dạng logarit cơ số 10 của nồng độ tính bằng g/m³) và tên của chất hóa học hoặc nhóm chất hóa học được kiểm soát cụ thể.
- Phương pháp phân loại này cho phép người sử dụng xác định chính xác giới hạn của từng tác nhân hóa học cụ thể (ví dụ: axit, bazơ, chất hữu cơ, chất pha tạp) phù hợp với yêu cầu nghiêm ngặt của từng ngành công nghiệp công nghệ cao như sản xuất bán dẫn, dược phẩm hoặc công nghệ sinh học.
Để sử dụng toàn bộ tiện ích nâng cao của Hệ Thống Pháp Luật vui lòng lựa chọn và đăng ký gói cước.
PHÒNG SẠCH VÀ MÔI TRƯỜNG KIỂM SOÁT LIÊN QUAN - PHÂN LOẠI Ô NHIỄM PHÂN TỬ TRONG KHÔNG KHÍ
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination
Lời nói đầu
TCVN 8664-8:2011 hoàn toàn tương đương với ISO 14644-8:2006.
TCVN 8664-8:2011 do Viện Trang thiết bị và Công trình y tế biên soạn, Bộ Y tế đề nghị, Tổng cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng thẩm định, Bộ Khoa học và Công nghệ công bố.
Bộ TCVN 8664:2011 (ISO 14644) Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan gồm các tiêu chuẩn sau:
- Phần 1: Phân loại độ sạch không khí.
- Phần 2: Yêu cầu kỹ thuật để thử nghiệm và theo dõi nhằm chứng minh sự phù hợp liên tục với TCVN 8664-1 (ISO 14644-1).
- Phần 3: Phương pháp thử.
- Phần 4: Thiết kế, xây dựng và khởi động.
- Phần 5: Vận hành.
- Phần 6: Từ vựng.
- Phần 7: Thiết bị phân tách (tủ hút, hộp đựng găng tay, môi trường cách ly đối với không khí sạch).
- Phần 8: Phân loại ô nhiễm phân tử trong không khí.
Lời giới thiệu
Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan cung cấp cho việc kiểm soát sự nhiễm hạt trong không khí đến mức thích hợp để hoàn thành các hoạt động nhạy cảm với sự lây nhiễm. Các sản phẩm và các quá trình được hưởng lợi từ việc kiểm soát lây nhiễm trong không khí gồm các sản phẩm và quy trình trong công nghiệp như ngành hàng không vũ trụ, vi điện tử, dược phẩm, trang thiết bị y tế, thực phẩm và chăm sóc sức khỏe.
Trong một số ngành công nghiệp này, sản phẩm hoặc quá trình có thể nhạy với, hoặc có thể bị phá hủy bởi, nhiễm bẩn phân tử từ các hạt phân tử trong không khí, chúng hiện diện do các nguồn tạo ra từ bên ngoài.
Trong phạm vi tiêu chuẩn này, sự hiện diện của các phân tử trong không khí được thể hiện như là ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC). Ô nhiễm phân tử là một sự kiện ba bước. Bước thứ nhất là tạo ra do các nguồn từ bên ngoài, quá trình rò rỉ hoặc của vật liệu xây dựng hoặc khí thải của con người. Bước thứ hai là vận chuyển như là ô nhiễm phân tử trong không khí. Bước thứ ba là thấm hút lên bề mặt nhạy cảm có thể xác định được số lượng như là nhiễm phân tử trên bề mặt (SMC).
Các nguyên liệu tạo ra và các bề mặt khi xảy ra sự thấm hút có ảnh hưởng lớn đến các bước tạo ra và thấm hút bổ sung cho AMC thực tế. Như vậy, đối với hai bước này cần phải xác định không chỉ AMC mà còn cả kích thước liên quan và các bề mặt. Để thực hiện khả năng áp dụng chuẩn chung cho mọi loại phòng sạch hoặc môi trường kiểm soát liên quan, phải chọn AMC để phân loại.
Tiêu chuẩn này ấn định các mức phân loại ISO được sử dụng để quy định các giới hạn nồng độ AMC trong phạm vi phòng sạch hoặc môi trường được kiểm tra liên quan, khi sản phẩm hoặc quá trình được cho rằng đang có những rủi ro từ việc ô nhiễm như vậy.
Đối với mục đích phân loại, tiêu chuẩn này được giới hạn trong khoảng nồng độ AMC đã được ấn định và cung cấp quy trình chuẩn để quy định các nồng độ liên quan đến các hợp chất hóa học, các phương pháp thử và phân tích, và các yếu tố có điều chỉnh thời gian.
Các Phụ lục tham khảo trong tiêu chuẩn này đề cập:
- Các thông số để xem xét: Phụ lục A;
- Hóa chất và các chất nhiễm bẩn điển hình: Phụ lục B;
- Phương pháp điển hình để đo lường và phân tích: Phụ lục C;
- Xem xét các yêu cầu đặc biệt đối với bao bọc phân ly: Phụ lục D.
Tiêu chuẩn này là một phần của loạt tiêu chuẩn liên quan đến phòng sạch và các đối tượng liên quan. Nhiều yếu tố thêm vào AMC cần thiết để xem xét trong bản thiết kế, quy định kỹ thuật, vận hành và kiểm soát của phòng sạch và môi trường kiểm soát khác. Những điều này được Ban kỹ thuật ISO/TC 209 đề cập chi tiết trong một số phần khác. Trong thực tế, sự chú ý hướng vào ISO 14698 (tất cả các phần)
Để xem đầy đủ nội dung và sử dụng toàn bộ tiện ích của Hệ Thống Pháp Luật vui lòng lựa chọn và đăng ký gói cước.
Nếu bạn đã là thành viên, hãy bấm:
- 1Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 8664-3:2011 (ISO 14644-3:2005) về Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 3: Phương pháp thử
- 2Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 8664-6:2011 (ISO 14644-6:2007) về Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 6: Từ vựng
- 3Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 8664-7:2011 (ISO 14644-7:2004) về Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 7: Thiết bị phân tách (tủ hút, hộp găng tay, bộ cách ly và môi trường nhỏ)
- 4Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 7699-2-2:2011 (IEC 60068-2-2:2007) về Thử nghiệm môi trường- Phần 2-2: Các thử nghiệm - Thử nghiệm B: Nóng khô
Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 8664-8:2011 (ISO 14644-8:2006) về Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 8: Phân loại ô nhiễm phân tử trong không khí
- Số hiệu: TCVN8664-8:2011
- Loại văn bản: Tiêu chuẩn Việt Nam
- Ngày ban hành: 01/01/2011
- Nơi ban hành: ***
- Người ký: ***
- Ngày công báo: Đang cập nhật
- Số công báo: Đang cập nhật
- Ngày hiệu lực: 15/09/2026
- Tình trạng hiệu lực: Kiểm tra
